淨化工程作用和行業應用
作用
控製產品 (如矽芯片等) 所接觸之大氣的潔淨度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造。此空間的設計施工過程即可稱為淨化工程。
分類
亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板
回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。
優點:構造簡單、係統建造成本低,潔淨室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出,易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。
行業應用
淨化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業,(21世紀)在電子信息、半導體、光電子、精密製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗等眾多行業均有應用,並根據行業的精密與無塵要求,等級差別也較大。
目前級別最高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬於1級,屬於特殊領域,麵積相對較小。
另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間,物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
隨著電子元器件向微小化方向發展,液晶麵板已經升級至第八代,行業需求非常巨大。
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